Visualizer for
crystalline defects XS-1
晶體缺陷的視覺化工具
•通過Vision
Psytec的原始光學理論和相移計算過程,可以實時顯示單晶晶片內部由晶體缺陷引起的內部變形。 •實現了通過可視光的顯微鏡進行觀察,在以前不可能觀察晶體位錯。 •具有晶體位錯探測能力,與同步輻射X射線形貌術相比,靈敏度最高,是晶體缺陷的評估方法。 •有可能在透明晶片內觀察到光學畸變,這幾乎是不可能用傳統偏光顯微鏡觀察到的。寬禁帶電晶體單晶,如碳化矽、GaN、金剛石和氮化鋁。藍寶石晶片也可用。
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特徵 ■ •非破壞性檢查和即时性 ■ •不使用X射線或激光光源 |
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